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工藝應(yīng)用

-MOCVD晶圓倒片上下料
機(jī)器人型號(hào)

-GBT-P7A-700 （了解更多）
系統(tǒng)組成

-兩臺(tái)四軸機(jī)器人和一臺(tái)六軸機(jī)器人銜接前道設(shè)備對(duì)加工完成的晶圓和未加工的晶圓進(jìn)行一個(gè)上下料的工藝。
客戶所得經(jīng)濟(jì)效益

-減少成本，提高產(chǎn)能和效率
-保證節(jié)約人力成本，生產(chǎn)穩(wěn)定性
關(guān)鍵技術(shù)

-機(jī)器人通過國家潔凈等級(jí)的認(rèn)證，可在無塵環(huán)境中使用。
-機(jī)器人配備高速I/O, 實(shí)現(xiàn)對(duì)圓晶Mapping檢測(cè)
-高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤無擦碰
競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

-晶圓定位精度：±0.05mm、±0.1°
-上下片節(jié)拍：425pcs/h
-機(jī)器人重復(fù)定位精度高（重復(fù)定位精度：0.02mm)，可確保晶圓上下片無碰傷
-高速搬運(yùn)無抖動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)晶圓高速上下料 -良品率：≥99.9%